Deublin杜博林多通道旋转接头、导电滑环半导体工业、化学机械抛光机CMP、 IC制造
TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域的应用
Deublin rotary union application for Semiconductor industry: Physical Vapor Deposition (PVD)
wafer processing or Chemical Mechanical Planarization (CMP) operations

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- 规格参数：6通道旋转接头、导电滑环。
- 介质：空气和无离子水

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