美国Deublin杜博林多通道旋转接头、导电滑环半导体工业、化学机械抛光机CMP、 IC制造
TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域的应用
Deublin rotary union application for Semiconductor industry: Physical Vapor Deposition (PVD)
wafer processing or Chemical Mechanical Planarization (CMP) operations

 

信德迈科技(北京)有限公司专业提供美国杜博林Deublin多通道旋转接头、导电滑环应用于半导体工业和化学机械抛光机CMP。 化学机械抛光机CMP 技术和设备产品配套旋转接头。可广泛应用于IC制造、TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域。- 规格参数:6通道旋转接头,介质:空气和无离子水。欢迎咨询、联系和采购 010-8428 2935,13910962635。Deublin rotary union Semiconductor industry: Physical Vapor Deposition (PVD), wafer processing or Chemical Mechanical Planarization (CMP) operations.

 

- 化学机械抛光机CMP 技术和设备产品配套旋转接头。可广泛应用于IC制造、TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域。

- 规格参数:6通道旋转接头、导电滑环。
- 介质:空气和无离子水

- 物理气象沉积 PVD应用旋转接头

规格参数:16通道冷却旋转接头

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规格参数:机械密封+软密封
650RPM,间歇运行
空气,真空和硅浆
不锈钢壳体
无内部泄露

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晶圆加工机械设备旋转接头

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晶圆加工机械设备旋转接头

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- 美国杜博林DEUBLIN 20003 series系列旋转接头产品在半导体工业应用

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中芯国际:国产12英寸抛光机(简称CMP)设备上马 国产CMP制造芯片指日可待
2016-07-17 芯榜


中芯国际日前决定向天津华海清科机电科技有限公司购买12英寸化学机械抛光设备——Universal-300抛光机(简称CMP),用于大生产线wafer reclaim(硅片再制造)生产。该CMP设备同时也通过了指纹芯片产品验证,这意味着我们的智能手机不久将可以使用国产CMP制造的芯片,美日欧厂商垄断市场的局面将被打破。


在国家02专项支持下,清华大学研制出了国内首台12英寸“干进干出”铜制程抛光机,主要技术指标达到或优于国外同类产品的先进水平。天津华海清科承接清华大学的核心专利技术,同时也成建制地承接了CMP研发团队,保证了公司人才队伍的完整性和技术研发的可持续。

该CMP设备同时也通过了指纹芯片产品验证,这意味着我们的智能手机不久将可以使用国产CMP制造的芯片,美日欧厂商垄断市场的局面将被打破。

CMP是通过使用化学腐蚀和机械磨损共同作用对加工过程中的晶圆进行平坦化处理,以获得纳米级别的平整表面,是集成电路制造工艺中的五大关键技术之一。其抛光的金属线线宽仅头发丝的1/5000,而抛光一个足球场面积,高度差只能小于1毫米。

化学机械抛光是半导体工艺的一个步骤,该技术于90年代前期开始被引入半导体硅晶片工序,从氧化膜等层间绝缘膜开始,推广到聚合硅电极、导通用的钨插塞(W-Plug)、STI(元件分离),而在与器件的高性能化同时引进的铜布线工艺技术方面,现在已经成为关键技术之一。虽然目前有多种平坦化技术,同时很多更为先进的平坦化技术也在研究当中崭露头角,但是化学机械抛光已经被证明是目前最佳也是唯一能够实现全局平坦化的技术。进入深亚微米以后,摆在CMP面前的代表性课题之一就是对于低介电常数材料的全局平坦化。

 

 

走出中关村 京津联手推动中国先进制造大跨越

2016年07月15日 13:26 中国新闻网
中新社北京7月15日电 题:走出中关村 京津联手推动中国先进制造大跨越

中新社记者 陈建

走出院士云集的老校园,暂别日渐拥挤的北京城,到全国先进制造研发基地——天津去建实验室、研究所,创办“产学研用”紧密对接的高科技公司,逐渐成为北京顶尖高校科技创新领军人才的共同选择。

驱车驶入科创慧谷(天津)园区,5栋欧式建筑一字排开。清华大学天津高端装备研究院(简称“高端院”)就坐落在那里。

这家清华大学的外派专业研究院,以高端装备设计、制造和技术服务为切入点,落户天津一年多来,已经成立了21家研究所,1家研究室,3家联合研究中心,以实际行动践行京津冀协同发展的国家战略。

50岁出头的路新春是机械工程系研究员,摩擦学领域的“长江学者”,学术地位仅次于“院士”。他不仅出任“高端院”副院长,还率领团队,自主研发生产出用于制造超大规模集成电路的关键装备——国产首台12英寸化学机械抛光机。

如今,这台价值300多万美元的抛光机,正在位于北京亦庄、中芯国际的大型生产线上运转着。此前,全球只有一家美国公司和一家日本企业有能力生产这种装备。

“只要学校(清华大学)没事,我都在天津”,路新春说。

他戴上手套,拿起一片12英寸的晶元向记者解释道:用化学机械抛光机对晶元表面做平坦化处理,使晶元达到当今集成电路工艺光刻所要求的28-14纳米的线条宽度,“学问可大着呢!涉及我们自主研发的专利就超过130项。抛光到什么程度才叫均匀?打个比方,相当于把足球场那么大的地方,抛光到高度差小于1毫米。”

集成电路是高端制造业的核心。海关统计,2015年,中国集成电路进口额2307亿美元,出口693亿美元,逆差1614亿美元。

有关集成电路的设计、制造、应用,与大型飞机、载人航天与探月工程等一样,都属于“国家科技重大专项”。现有的16个重大专项,都是为了实现国家目标,提升综合国力,通过核心技术突破和资源集成,在一定时限内完成的重大战略产品、关键共性技术和重大工程。

路新春恰是集成电路装备专项的重要参与者之一。现在,他以周为单位,过着京津两地的通勤生活。

象路新春一样,出自清华大学、却在天津高端装备研究院中工作的专家、教授有近50位。他们与“高端院”自聘的150多人一起,研发出五花八门的技术成果:机器人有的能精密对合飞行器大部件,有的能帮助卧床患者或残障人士洗头;从细胞精确3D打印技术,到制造智能膝关节;从数控机床上用的“纳米润滑剂”、高性能刀具的涂层、重型液压机,到能切割蓝宝石等硬脆材料为衬底的高亮度LED晶圆的紫外激光器;或者开发专用模拟系统,教人怎样设计、运行、维护小型核电站,如何训练轨道交通驾驶员等等。

除了清华大学,在已被纳入国家自主创新示范区的天津华明高新区,还有中科院电工研究所、光电研究所、微电子所等7个科研机构。

北京是全国政治、文化、国际交往、科技创新中心,接近一半的中国科学院、中国工程院院士在中关村的高等院校、科研院所工作。天津是全国先进制造研发基地、北方国际航运核心区、金融创新运营示范区、改革开放先行区。北京、天津作为京津冀协同发展的主要引擎,加强联动,全方位拓展合作广度和深度,加快实现同城化发展,才能共同发挥高端引领和辐射带动作用。

北京中关村的科研人员正在天津的高新区中扎根,为“中国制造2025”培养出更多生力军,加快推进中国制造业的创新发展、提质增效,助推从制造大国向制造业强国转变。(完)


 

Deublin杜博林多通道旋转接头、导电滑环半导体工业、化学机械抛光机CMP产品应用OEM制造配套成功案例

 

 



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