Deublin杜博林多通道旋转接头物理气象沉积PVD设备配套16通道冷却旋转接头
Deublin Rotary Union for PVD Coating Equipment Applications

信德迈科技(北京)有限公司专业提供杜博林Deublin多通道旋转接头、导电滑环应用于IC半导体工业。Deublin杜博林多通道旋转接头物理气象沉积PVD设备配套16通道冷却旋转接头 。- 规格参数：6通道旋转接头，介质：空气和无离子水。旋转接头可广泛应用于IC制造、TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域。- 规格参数：6通道旋转接头，介质：空气和无离子水。Deublin rotary union Semiconductor industry: Physical Vapor Deposition (PVD), wafer processing or Chemical Mechanical Planarization (CMP) operations。欢迎咨询、联系和采购 010-8428 2935,13910962635。

- 物理气象沉积 PVD 规格参数：16通道冷却旋转接头

物理气象沉积设备图 工作示意图

物理气象沉积PVD技术

物理气相沉积(Physical Vapor Deposition，PVD)技术是在真空条件下，采用物理方法将材料源——固体或液体表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜的技术，其涂层是采用离子轰击的方式沉积到工件表面。图1是我们研究院自主研发设计制作出来的一套真空镀膜的设备，当时是主要针对于水阀做的一个炉膛，因为它前身的技术是用在镀刀具上，整个技术在这里扩展以后，效果不错，我们后台有一些实验数据来支撑。 PVD基本方法：真空蒸发、溅射 、离子镀（空心阴极离子镀、热阴极离子镀、电弧离子镀、活性反应离子镀、射频离子镀、直流放电离子镀）。

PVD技术这块我们目前实现的是钛、镐、铬、钴，氮化物还有其他，都可以附着到材料的表面。经PVD工艺处理后，它的显微硬度可以达到2000HV，最高使用温度可以达到650℃。PVD涂层工艺又是一种真正能够获得纳米级凃层且无污染的环保型表面处理方法。采用PVD技术对机械零部件表面进行处理，能大幅度地提高工件的使用寿命。与其它表面处理技术相比（见表1），PVD技术具有处理温度低、变形量小、涂层硬度高和附着力强等优点，已经在近年来广泛地引用到泵阀产业。同时，在液压产品上的应用为液压零部件的加工工艺提供了新的方法与思路。

有几个比较突出的数据：一是处理的温度在250℃～500℃，我们目前掌握温度是450℃以下在做，大家知道一般金属的变形温度在450℃以上，400℃以下相对来讲变形量是非常小的。二是厚度只要1～5μm，比较薄。相对于其它处理方式，几点优势的地方在表1都能显现出来。

PVD涂层具有硬度高、摩擦系数低、附着力强、化学稳定性好等特点，它的不足在于处理层很薄，如果基体软，将成为“鸡蛋壳”。这时如果密封面不是平面接触，特别是有楞角的，这种情况下挤压后，就会直接咬进去，破坏它的表面涂层。

PVD在液压元件上的应用技术

我们在液压元件上也做了些试验，把三一重工的柱塞拿过来，我们给它表面真空镀膜，然后拿到机子上去试。PVD处理后的涂层既具有良好的自润滑性，又能有效地防止黏着磨损的发生，作为柱塞的最后一道表面处理工序，对增加柱塞的使用寿命有着显著的作用。

后面对液压关键件我们会逐步去做。包括斜盘、配流盘、齿轮呀、定子环、叶片等等，因为PVD技术我们开发到现在为止接近5年，前几年一直是在做基础工作，现在整个工艺稳定了，才开始对外做应用。

对球阀、球体、包括阀座这一块，我们是已经做完并拿到现场实际应用去了，到目前为止，反馈的消息还是不错的，大大增加了表面的硬度，而且还能降低球体与阀座的摩擦系数。这方面我们是有一个数据的。当时我们是在一个阀门企业，利用它的试验设备，每分钟开关5次，压力5MPa（出口端不保压），压力切换比较厉害。和喷焊Ni60、喷涂WC的球体相比，PVD复合处理的球体启闭次数为Ni60球体的30倍，为WC喷涂球体的2倍。图10是试验后的Ni60球体和PVD球体，有磨损的这一块是Ni60的球体，PVD处理完的那个依然完好，可以看出效果非常突出。

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