为国内客户提供高端半导体装备元器件,助力芯片制造商
2018年 - 信德迈公司

 

信德迈科技(北京)有限公司多年来致力于为国内客户提供高端半导体装备元器件,助力芯片OEM制造商。产品包括等离子刻蚀设备 Etcher、物理气相沉积设备 PVD、化学气相沉积设备 CVD、氧化扩散设备 Oxide/Diff、清洗设备 Cleaning Tool、紫外固化设备 UV Cure、PECVD、磁控溅射PVD、LPCVD、RPD反应离子沉积、有机及金属共蒸发设备、离子注入机、快速退火炉等IC关键装备、扩散炉、刻蚀机、PECVD、高温烧结炉为主的太阳能电池制造装备。虽然国内设备总量不大,但一直保持高速增长。国产设备虽然在集成电路领域还没有出现大幅增长,但在LED、光伏、微显示领域已经发挥了很大作用。中国大陆目前在LED、光伏领域的进货量是非常大的,而这两个产业几年前还是国外技术主导,我们为何能在短时间内改变产业格局呢?


- 集成电路晶圆生产七大类生产设备:扩散炉,光刻机,刻蚀机,离子注入机,薄膜沉积设备,化学机械抛光机,清洗机


化学气相沉积PECVD


生产型低压气相沉积LPCVD


离子注入机


离子注入机是对半导体表面附近区域进行掺杂的技术,其目的是改变半导体的载流子浓度和导电类型,可以满足浅结、低温和精确控制等要求,已成为集成电路制造工艺中必不可少的关键装备。

CVD化学气相沉积设备

CVD (Chemical Vapor Deposition,化学气相沉积)指把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室,在衬底表面发生化学反应生成薄膜的过程。


PVD物理气相沉积设备

 

PVD (Physical Vapor Deposition,物理气相沉积)指利用物理过程实现物质转移,将原子或分子由源转移到基材表面上的过程。它的作用是可以使某些有特殊性能(强度高、耐磨性、散热性。


沉积设备Etch


沉积设备Etch

CVD工艺平台采用完善的硬件结构和全自动工艺控制,并可提供一些材料(例如a-Si, SiO2, SiNx, AZO等)的测试沉积工艺。标准PVD平台提供多种沉积技术,包括Sputting溅射、HCPD离子枪、电子束源、可控温蒸发源等,单源或多源共沉积,并辅以在线测量和实时控制,生产设备可配套设计进出工件自动化系统。

化学气相沉积PECVD
低压气相沉积LVCVD
空心阴极离子镀HCPD
大面积生产用沉积设备

化学机械抛光机CMP 技术和设备产品配套旋转接头。可广泛应用于IC制造、TSV/3D封装、MEMS、晶圆、基片等制造领域。

 

薄膜沉积PVD物理气相沉积:蒸发或溅射镀膜

磁控溅射技术PVD物理气相沉积技术的一种,是制备薄膜材料的重要方法之一。它是利用带电荷的粒子在电场中加速后具有一定动能的特点,将离子引l向被溅射的物质制成的靶电极(阴极),并将靶材原子溅射出来使其沿着一定的方向运动到衬底并最终在衬底上沉积成膜的方法。磁控溅射设备使得镀膜厚度及均匀性可控,且制备的薄膜致密性好、粘结力强及纯净度高。

 

薄膜沉积PECVD

PECVD等离子体增强化学气相沉积,是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离,在局部形成等离子体,利用等离子很强的化学活性,在基片上沉积出所期望的薄膜。

 

薄膜沉积 -MOCVD金属氧化物化学气相沉积

MOCVD是在气相外延生长VPE的基础上发展起来的一种新型气相外延生长技术。 MOCVD是以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有机化合物和V、Ⅵ族元素的氡化物等作为晶体生长源材料,以热分解反应方式在衬底上进行气相外延,生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。

集成电路

- 硅刻蚀机

- 氮化钛刻蚀机

- 铝刻蚀机

- 氮化钛硬掩膜PVD

- 铝衬垫PVD

- 铜互连PVD

- 单片退火系统

- 立式退火/氧化系统

- 立式低压化学气相沉积

- 卧式扩散/氧化系统

- 原子层沉积系统

- 单片清洗机

- 质量流量计

先进封装

- 深硅刻蚀机

- 介质刻蚀机

- Bumping PVD

- TSV PVD

- 单片清洗机

- 槽式清洗机

- 立式退火/氧化系统

- 等离子切割刻蚀机

- 等离子去胶机

- 质量流量计

MEMS/Power IC

- 硅刻蚀机

- 介质刻蚀机

- 通用型刻蚀机

- 金属溅射系统

- 硅外延系统

- PECVD

- 单片硅外延系统

- 卧式扩散/氧化系统

- 卧式LPCVD

- 槽式清洗系统

- 质量流量计

平板显示

. 紫外线固化炉

. 磨边后清洗机

. 装载卸载设备

. 热回收系统

. 离子微粒吸附设备

. 精密恒温恒湿机

. 有机溶剂回收系统

. 质量流量计

半导体照明

- 蓝宝石图形衬底刻蚀机

- 氮化镓刻蚀机

- PECVD

- 金属电极溅射系统

- 氮化铝溅射系统

- 槽式清洗系统

- 管式退火系统

- 质量流量计

新能源光伏

- 卧式低压扩散炉

- 管式PECVD

- 卧式LPCVD

- 石英舟/管清洗机

- 在线多晶制绒清洗机

- 在线湿法刻蚀清洗机

- 槽式单晶制绒清洗机

- 药液供给/回收系统

- 质量流量计

我们提供产品包括:气动洁净设备、电磁阀、各种气动压力、流量、方向控制阀、各种形式的气缸、摆缸、真空设备、气动仪表元件及设备

 

 

美国Parker


克汉尼汾(ParkerHannifen)是一家总部位于美国俄亥俄州的跨国公司,成立于1918年,现已成为世界上最大的专业生产和销售各种制冷空调件、液压、气动和流体控制产品及元器件的全球性的公司。公司的的股票也是美国标准普尔的指标股。 美国派克Parker是唯一一家能够给客户提供液压、气动、密封、机电一体化和计算机传动控制解决方案的制造商。 美国Parker派克汉尼汾公司制造各种元件和系统,用于控制各种机械和其他设备的运动、流量和压力。派克提供1400多条生产线,用于1000多个工程机械、工业和航空航天领域内的项目。派克是唯一一家能够给她的客户提供液压、气动、机电一体化和计算机运动控制解决方法选择的制造商。此外,在我们的领域内我们有最大的销售网络,遍布全球的7500多个销售商为400000多个用户提供服务。

派克气动部门可以提供全系列气动产品,从带导轨的无杆气缸、MODUFLEX系列阀岛,气源处理元件,FRL三元件,开关阀岛,气管,接头等派克为客户提供一站式订单服务。系统设计以人为本,实现安装和操作简单方便,系统使用时间长及可靠性高,为客户带来更高效的产品。

 

 

德国FESTO
  

德国Festo是世界领先的自动化技术供应商,也是世界气动行业第一家通过ISO9001认证的企业。FESTO的品牌质量包含许多方面,主要表现在智能化和易操作的产品设计、使用寿命长的产品、持久的效率优化。


Festo公司不仅提供气动元件、组件和预装配的子系统,下设的工程部还能为客户定制特殊的自动化解决方案。FESTO能提供约28,000种产品,几十万个派生型号,充满创造力的SA人员已经设计制作了超过21,000件特殊的单一及系列产品。

Festo产品质量优异、使用寿命长。其特点是:工作效率高、可靠性高、精确度高、安装便捷、安全性好。电器元件的有效动作次数约为百万次,而一般电磁阀的寿命大于3000万次,某些质量好的阀超过2亿次。最为重要的,Festo提供了最全面的气动、电动产品和相关服务,在气动及其关联领域内第一家从真正意义上实现了产品和服务的完全覆盖,实现了产品与服务完全来源自同一品牌。

  
Festo产品在许多行业得到广泛应用,例如汽车、电子、食品加工和包装、抓取装配和工业机器人、水处理、化工、橡胶、塑料、纺织、机床、冶金、建筑机械、轨道交通、造纸和印刷等行业。为了应对各个不同行业的特殊需求,费斯托下设有汽车、食品与包装、电子、抓取系统、过程控制5个行业管理部门,专门应对这些行业的特殊要求。

 

 


日本SMC
  

日本SMC(SMCCORPORATION)成立于1959年,总部设在日本东京都。目前SMC已成为世界级的气动元件研发、制造、销售商。在日本本土更拥有庞大的市场网络,为客户提供产品及售后服务。SMC作为世界最著名的气动元件制造和销售的跨国公司,其销售网及生产基地遍布世界。SMC产品以其品种齐全、可靠性高、经济耐用、能满足众多领域不同用户的需求而闻名于世。


SMC气动元件超过11000种基本系列,610000余种不同规格,主要包括气动洁净设备、电磁阀、各种气动压力、流量、方向控制阀、各种形式的气缸、摆缸、真空设备、气动仪表元件及设备,以及其他各种传感器与工业自动化元器件等。

  

产品涉及领域:汽车、半导体、太阳能电池、二次电池、食品、医药与医疗、机床、石油、化工、轨道交通等。主营产品:气缸、电磁阀、气源处理元件、压力控制元件、速度控制元件、真空元件、接头与管子、冷干机、静电消除器、温控器、传感器、流体阀、电动执行器、液压缸、夹紧缸等。
气动元件的全球市场占有率高达26%,在工业生产高度自动化的日本市场,其占有率更是超越61%。在日本市场占有率已超过60%的SMC,通过分布于世界51个国家的海外子公司及分销商,将世界各国SMC产品的生产、销售连成一体,为用户提供直接、完善的服务。

 

 

CKD喜开理
  

日本CKD是世界三大气动公司之一,是日本CKD株式会社投资的企业,主要制造气源处理三大件、气缸、电磁阀等自动化产品。在世界的每个角落,CKD都以它一流的质量和优质的服务倍受广大用户的青睐; CKD主要生产的产品有自动化机械(灯管制造,CCFL,LED制造设备,药品泡壳包装设备,二次电池卷绕机,三维焊锡印刷基板检查仪);气动控制系统(FRL气源处理件,气动换向阀,气缸以及其他附件);流体控制系统(多介质电磁阀,气控阀,马达阀,分析仪器专用阀,切削液控制专用阀,高真空专用阀,煤气天然气LPG专用阀,高纯化学液体阀,工艺气体阀)以及省力系统(DD-MOTOR,间隙式转台)。

 

德国博世力士乐Bosch Rexroth
  

博世力士乐作为德国博世集团的全资子公司,是全球工业技术市场的领先供应商,在传动和控制领域声誉卓著。力士乐为工业及工厂自动化、行走机械、以及可再生能源等领域的客户提供传动、控制与移动的个性化解决方案。目前,作为全球超过50万客户的共同选择,力士乐正不断为客户提供着高质量的电控、液压、气动以及机电一体化元件和系统。在全球超过80个国家中,力士乐成为当地客户可靠的合作伙伴,帮助他们生产更安全、更高效的机械设备,从而致力于自然资源的合理利用。

博世力士乐同时为客户提供各种液压、电子传动与控制、气动、齿轮、线性传动及组装技术。公司业务遍及全球80多个国家,拥有37,500多名专业员工,2012年全球的销售额近65亿欧元。2012年10月18日,博世力士乐中国武进新厂正式投入运营,为拓展亚太市场再添助力。新工厂投资总额近8300万欧元,建筑面积达7万m2,拥有近1200名员工,业务涵盖液压、线性传动以及气动元件与系统等领域。同年,德国博世力士乐集团收购中国浙江亿日气动科技有限公司的多数股份。亿日是中国市场上居于领先地位的气动产品公司之一。该公司主要研制、生产并且在本地市场销售亿日品牌的气缸、阀门、气动维护单元以及附件。这家中国的气动产品专业公司共有大约900名员工。

 

小金井
  

日本小金井公司全称是株式会社小金井,成立于1934年的小金井公司主营气动元件以及相关产品的制造,氟树脂元件的制造。 集中给油润滑装置的制造。小金井koganei最畅销的一种阀,型号180-4E1,寿命长,价格低,工作稳定的电磁阀(该型号为进口同类产品中性价比最高的产品)。小金井的产品包括(KOGANEI)小金井高性能气动元件气缸,摇摆气缸,气动爪,电磁阀,手动阀,止回阀,真空阀发生器,吸盘,真空笔式气缸,复式气缸,模具气缸,轴式气缸,无轴气缸,磁性干燥器,调压阀,压力阀,小金井除静电器,验静电器等。小金井桌面机器人等,消音器,胶管及接头等。

 

 

英国诺冠Norgren
  

诺冠是世界著名的气动产品制造和供应商,为全球客户提供气动和流体控制解决方案。诺冠公司通过精选的经销商网络及通过遍布全世界26个国家,16000多名员工的国际网络,生产供应全系列的气动控制和自动化产品,可确保客户从诺冠这一可信赖的供应商那里即能采购到所需要的气动产品。同时,诺冠每年设计并生产成千上万种特殊的产品,以满足客户的特定要求,遍布26个国家的公司在当地均能为客户提供包括气动控制回路设计,气动技术和产品问题的销售技术咨询,专门的应用指导,各个层面的技术支持以及在当地进行常规产品的生产加工。早在二十世纪初期,当创始人卡尔诺冠在自己的厨房(科罗拉多州丹佛)中创办其空气管线企业时,诺冠就始终致力于创新。通过有组织的发展和战略并购,诺冠现已成为全球IMI商业集团中的一分子,秉承创新精神,将工程优势融入二十一世纪。

目前,在全世界拥有22家生产基地,销售和服务网络遍布75个国家,产品覆盖工业自动化、生命科学、能源、轨道交通、商用车辆、食品及饮料等行业的专业技术。

 

YSC MECHATRONICS CORP
  

YSC MECHATRONICS CORP。成立于二十世纪七十年代,是韩国工业自动化行业的代表企业,为韩国工业自动化发展做出了巨大贡献。目前,YSC产品远销世界各地,以其卓越的品质、完善的服务、富有竞争力的价格,成为众多国际知名企业的首选品牌。通过与欧美及日本企业的长期技术合作,YSC不断丰富自己的产品体系,而且YSC业已建立一套严谨的质量管理体系,可保证YSC的产品品质达到国际同行业的先进水平。自1996年以来,“YSC”作为最早进入中国市场的韩国自动化品牌,积极参与中国的工业化进程,一直遵循QSPT的经营管理原则(Q-quality质量,S-service服务,P-price价格,T-time货期),根据中国市场的要求,针对我国自动化的发展趋势,不断充实、调整、完善产品结构,以精品面对市场,为全国各地的包装、电子、电器、电气、汽车、石油化工、机械、冶金、焊接、数控等诸多行业提供配套与服务。目前国内的众多知名企业,均成为YSC的长期、稳定的业务合作伙伴。

 

韩国TPC Pneumatic Components
  

TPC丹海集团创立于1973,韩国丹海(TPC)公司韩国最大的专业气动元件研发及生产厂家,它以创造、判断与行动为企业理论,开辟了韩国国内工厂自动化的新的一章,且在过去37年当中在参与贸易及流通业务,空压器械业务,环境公害的防止,农村经济沟造的改善,车辆后方安全警报装置等工作中不懈努力而不断成长。韩国TPC上海丹海科技有限公司是专业生产,销售自动化气动元件生产企业.主要研发生产销售气动元器件气缸,电磁阀等产品。其产品品种齐全,主要涵盖四大类几万个品种。TPC气动元件以创造、判断、行动为企业理念始创立于1973年,在综合自动化系统领域不断的成长。并获得多项认证,主要有ISO9001/9002认证、CE认证、UL认证、K标示认证、EM标示认证等。


台湾亚德客Airtac

亚德客是全球知名专业生产各类气动器材的大型企业集团,致力于向客户提供满足其需求的气动控制元件、气动执行元件、气源处理元件、气动辅助元件等各类气动器材、服务和解决方案,为客户创造长期的价值和潜在的增长。

  
亚德客始创于1988年,现辖三大生产基地和一家营销中心,亚德客生产基地厂房面积达10万平方米,全球员工总计2500人,专业技术人员300多人,总投资1.5亿美元,年生产能力达5,000万件套,产品畅销中国、东南亚、欧美等国家和地区。早期的台亚主要生产电磁阀,此后陆续研发生产气缸、气源处理等产品。目前,台亚产品以特殊规格气缸为主,拥有七大类十余系列数百个品种,年产量达到20万件套,主要供应台湾本地市场,满足客户需求及时效性。
  

亚德客在全球范围内建立了60多家直属、独立的销售公司和服务网点,拥有150多家信誉良好的经销商、代理商,拥有500余名业务娴熟的营销人员和一支技术精湛的售后务队伍,拥有联保制度等个性化、客制化的服务措施与手段,可以随时随地为客户提供性能卓越的产品和快速便捷的技术服务。

 

 

气动元件Pneumatic Components产品: 气动元件气缸,摇摆气缸,气动爪,电磁阀,手动阀,止回阀,真空阀发生器,吸盘,真空笔式气缸,复式气缸,模具气缸,轴式气缸,无轴气缸,磁性干燥器,调压阀,压力阀,小金井除静电器,验静电器,桌面机器人等,消音器,胶管及接头 | 液压、电子传动与控制、气动、齿轮、线性传动 | CKD主要生产的产品有自动化机械(灯管制造,CCFL,LED制造设备,药品泡壳包装设备,二次电池卷绕机,三维焊锡印刷基板检查仪);气动控制系统(FRL气源处理件,气动换向阀,气缸以及其他附件);流体控制系统(多介质电磁阀,气控阀,马达阀,分析仪器专用阀,切削液控制专用阀,高真空专用阀,煤气天然气LPG专用阀,高纯化学液体阀,工艺气体阀)以及省力系统(DD-MOTOR,间隙式转台) | 气缸、电磁阀、气源处理元件、压力控制元件、速度控制元件、真空元件、接头与管子、冷干机、静电消除器、温控器、传感器、流体阀、电动执行器、液压缸、夹紧缸 | 气动洁净设备、电磁阀、各种气动压力、流量、方向控制阀、各种形式的气缸、摆缸、真空设备、气动仪表元件及设备,以及其他各种传感器与工业自动化元器件等 | Parker 派克气动部门可以提供全系列气动产品,从带导轨的无杆气缸、MODUFLEX系列阀岛,气源处理元件,FRL三元件,开关阀岛,气管,接头等派克为客户提供一站式订单服务。系统设计以人为本,实现安装和操作简单方便,系统使用时间长及可靠性高,为客户带来更高效的产品

 

俗话说,兵马未动,粮草先行。对于国内集成电路产业而言,要实现从跟随者走向引领者的跨越,装备产业是最重要的一个环节。中国集成电路发展任重道远,中国集成电路装备和材料业更是压力山大。清洗机、氧化炉、LPCVD(低气压化学气相沉积)、ALD(原子层沉积)和气体质量流量控制器(MFC) 刻蚀设备(Etch)、物理气相沉积设备(PVD)和化学气相沉积设备(CVD)集成电路制造、先进封装、半导体照明(LED)、微机电系统(MEMS)等离子刻蚀(Etch)、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、氧化/扩散、清洗、退火等半导体工艺装备;平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域 14nm等离子硅刻蚀机、单片退火系统、LPCVD已成功进入集成电路主流代工厂;28nm Hardmask PVD、Al-Pad PVD设备。

 

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