半导体设备，备件业务 - 半导体MRO备品备件

我们专业提供半导体设备备品备件业务。 前道设备CVD, PVD, Etcher, Scanner, Track,Implanter, Fumace, RTP, CMP, Metrology, Asher, WET, Stepper等；封装测试设备Prober, Tester, Handler, Sawing, Grinder, Die Bonder, Wire Bonder, Molding, Trim Form, Laser Marking, SMT等。产品涵盖：等离子刻蚀（Etch）、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、氧化/扩散、清洗、退火等半导体工艺装备；平板显示制造装备和气体质量流量控制器等核心零部件。涉及集成电路、先进封装、LED、MEMS、电力电子、平板显示、光伏电池等半导体相关领域。包括光刻系统,刻蚀系统,匀胶系统,离子注入系统,溅射系统,扩散系统,清洗腐蚀系统,以及测试系统等, 备品备件可以分别应用于刻蚀机（ETCH）、物理气相沉积（PVD）、化学气相沉积（CVD）、离子注入（IMP）、炉管（FURNACE）等半导体设备。

- 备品备件 Parts - 半导体装备 Semiconductor - 产品&服务 半导体装备的备品备件

等离子刻蚀设备 Etcher
物理气相沉积设备 PVD
化学气相沉积设备 CVD
氧化扩散设备 Oxide/Diff
清洗设备 Cleaning Tool
紫外固化设备 UV Cure
移载传送设备 Indexer
辅助设备 Facility
气体测量控制 Gas Measuring Control
备品备件 Parts
客户服务 Services
应用领域
集成电路 IC
光伏电池 Photovoltaic
先进封装 Advanced Packaging
科研设备 R&D Equipment
微机电系统 MEMS
真空镀膜 Vacuum Coating
半导体照明 LED
分析仪器 Analysis Instrument
功率器件 Power Devices
节能环保 Energy Saving
平板显示 FPD
光通信器件 Optical Information Devices
燃料电池 FC
备品备件 Parts
化合物半导体 Compound Semi
客户服务 Services负载点电源模块 POL Power Supply Module
晶体器件 Crystal Device
精密电阻器 Precision Resistor
微波组件 Microwave Module
新型钽电容器 Tantalum Capacitor
PECVD设备
扩散炉Diffusion

泛半导体、半导体及太阳能市场
Horiba品牌流量计
MFC气体质量流量控制器
美国Tylan气体质量流量控制器
Tylan Mass Flow Controllers & Meters
Brooks Instrument
Brooks Mass Flow Controllers & Meters
Brooks Instrument mass flow controllers
荷兰Bronkhorst Mass Flow Meter / Mass Flow Controller
Horiba气体质量流量控制器
HORIBA mass flow controllers & meters
HORIBA Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters (MFC & MFM)

电子备件部：主营变频器、PLC、人机界面、数控系统、伺服电机、变频电机、直线导轨、丝杠轴承、减速机、传感器、低压电器、仪器仪表、气动等产品，SANYO三洋、东方马达ORIENTAL、富士、台达、eview、步科、昆仑通泰、和泉、施耐德、三菱、日本岛电、天得、山河、希曼顿、安良等品牌并且对各个品牌提供售后备件服务。

Brooks 已在低温高真空技术领域成为无可争议的全球领先者。Brooks的 CTI-Cryogenics 低温泵在半导体、工业和科研市场中的各个应用中为重要工艺创建高真空环境。此外，我们的 Polycold 水汽捕集泵和深冷机已成为显示屏制造、半导体和工业市场的水抽除和冷却的标准。

On-Board IS 低温泵系统
On-Board 低温泵
Cryo-Torr 低温泵
On-Board 水泵

半导体自动化

晶圆机械处理
晶圆传输机械手臂

大气机械手臂
真空机械手臂
组件
晶圆传输系统
晶圆传输系统

真空系统
大气系统
Spartan 450 分类器
半导体污染控制

清洗设备
洁净存储
晶圆料盒和料箱
掩膜版操作
Spartan 450 分类器
工厂自动化解决方案

Spartan 分片机
上料机
掩膜版操作
SMIF 解决方案
调整和校准工具
资产跟踪与 RFID

Smart Tag 红外 8200 和 8400 系列
低频率 RFID 解决方案
高频 RFID 解决方案

CTI-Cryogenics 和 Polycold 产品
Brooks Automation 引领着半导体行业先进的低温泵市场。

Brooks Automation 可为半导体、显示、研发和常规真空行业提供涵盖广泛的高性能节能低温产品。其应用包括为半导体制程设备、用于显示和其他真空镀膜设备的快速水汽捕集低温泵、闭环低温制冷系统、用于太空模拟的大规模真空室以及小规模真空和温度控制研发应用建立超高真空环境。

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低温泵
低温泵和压缩机

On-Board IS 低温泵系统
On-Board 低温泵
Cryo-Torr 低温泵
On-Board 水泵
压缩机

深冷机
深冷机与低温制冷机

P-102 深冷泵
PCC 紧凑型深冷泵
PGC 气体深冷机

MaxCool 深冷捕集泵
Cryodyne 制冷机
PFC 水汽深冷机

CTI-Cryogenics & Polycold 低温泵

晶圆传输机械手臂

Brooks Automation 可提供全面的业界领先半导体晶圆输送机械手臂，用于扩展的 ISO 1 类洁净室应用。这些机械手臂具备出色的精确度、可重复性、可及性、产量，以及灵活的末端执行器、校正器和负载选件组合，从而使它们成为输送各种大小的晶圆以及薄晶圆或键合晶圆以及专用晶圆料盒的理想选择。

大气机械手臂
大气机械手臂

Reliance ATR 机械手臂
Razor? 大气输送机械手臂
Razor? 晶圆校正器
Yaskawa MR124 机械手臂
Yaskawa M201 机械手臂
真空机械手臂
真空机械手臂

MagnaTran 7 BiSymmetrik?
MagnaTran 7 Frogleg?
MagnaTran 7 Leapfrog
MagnaTran 7 SCARA
MagnaTran 8 QuadraFly
MagnaTran 8 Radius
组件
组件

InLigner?
Fusion? 控件

Brooks CTI-Cryogenics
低温泵和压缩机
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PCC 紧凑型深冷泵
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MaxCool 深冷捕集泵
PFC 水汽深冷机
Cryodyne 制冷机
冷媒的更换填充