天津华海清科机电科技有限公司

企业介绍

天津华海清科机电科技有限公司成立于2013年，是天津市政府与清华大学践行“京津冀一体化”国家战略，为推动我国化学机械抛光CMP技术和设备产业化成立的高科技企业。

华海清科主要从事CMP设备和工艺及配套耗材的研发、生产、销售与服务，核心团队成员来自清华大学摩擦学国家重点实验室及业内专业人才，拥有CMP技术专利200余项，产品可广泛应用于极大规模集成电路制造、封装、微机电系统制造、晶圆平坦化、基片制造等领域。

华海清科依靠国际化的经营理念和人才团队、先进的工艺试验条件，致力于为相关领域的企业、高校和科研院所提供先进的CMP设备及工艺的集成解决方案，遵循“科技服务社会”的公司宗旨，持续进行以优良的品质和卓越的服务赢得国内外用户的信赖。

产品发展及历程

2013年4月10日，华海清科成立

2015年8月，华海清科首台12英寸CMP设备Universal-300进入客户大生产线；Universal-300是我国首台进入大生产线的12”CMP设备，该机型技术含量高、性能稳定，适用于集成电路制造、晶圆基片生产、CMP研磨材料研发和相关的科学研究。

2015年11月，华海清科申报国家科技重大专项02专项“28-14nm抛光设备及工艺、配套材料产业化”项目获批。2015年12月，Universal-300升级机型Universal-300 Plus研发成功， Universal-300 Plus是根据市场需求变化、拥有完全自主知识产权的新型1 2英寸C M P设备， 采用Universal-300机型的成熟技术,集成多种终点检测技术，具备技术水平高、产量高、性能稳定、多单元、多工艺灵活组合等优点，可以极大地满足不同客户的工艺需求，具有极强的市场竞争力。

2015年12月，公司被天津市科学技术协会批复成立“院士专家工作站”

2015年12月，华海清科获批“高新技术企业”

2017年12月，华海清科CMP设备在客户端大生产线生产晶圆突破10万片。

2018年，华海清科Cu & Si CMP设备、W CMP工艺设备出机、Si CMP工艺设备出机、TSV 封装工艺、SiO2 CMP 工艺设备相继进入客户端。